国产扫描电镜产品介绍

        国产扫描电镜是善时仪器经过多年的团队联合研发出来的国产扫描电镜,具有体积小、操作简单、性价比高、性能优异等特点,扫描电镜放大倍率30~150,000X,分辨率为5nm。国产扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、真空系统和电源系统组成,具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。下面介绍国产扫描电镜:

ss150_1国产扫描电镜

(一) 样品制作,安装(样品高度调整)

1.在完全释放真空的状态下开启舱门。

2.把固定在控制轴上的支架按照逆时针方面转动。 

3.4.拧下固定在支架上的样品台,安装准备好的样品。 

5.固定样品的高度,通过 W/D JIG调整高度。(W/D指工作距离)

- 旋转装在支架上的两个螺母上下部分,样品的上缘高度和夹具限位臂下面一致后,让样品高度不变动的情况下互相往反方向旋紧固定螺母。

※ 样品比较高的情况下可以去掉一个螺母,调整高度。 

6.把载物台固定在支架上,沿顺时针方向转动到位固定。 

7.缓慢关上舱门,同时按下真空按钮抽真空,待舱门被吸住在松手。


(二)设备准备、开始, 结束        

1.按下电源开关(POWER)。

2.打开舱门,替换样品台。【参照手册(一)】

3.关闭舱门。

4.按住真空按钮EXCHANGE(三秒)。(抽真空时间2.5分钟)

  - 确认是否在抽真空,试着开启舱门。 

  - 真空完成后,信号音(2声) 和 LED 信号灯长亮不闪烁。

  ※信号音持续呼叫的情况,需要再推一次舱门,再按一次

    Exchange 键。

5.在电脑桌面选择 SENSE-SEM 图标,双击开始软件,按照操作顺序获取图像。

6.图像拍摄之后点击软件上的“stop”按钮,关闭软件。

7.长按EXCHANGE卸掉真空。(40秒内完成)

8.关掉电源开关。


(三) 国产扫描电镜SEM S/W 启动,参数设置

1.双击桌面的SENSE-SEM图标,等待软件运行。

2.在软件左上方选择合适的加速电压。(5/10/15/20/30KV)

  -应根据样品的性质、图像要求和观察倍率等来选择加速电压。

  -通常加速电压越高,可提升SEM的分辨率,不同的被观察物可能需要改变加速电压,以达到好效果。

3.选择本次观察分析使用的探测器类型SE/BSE。(二次电子/背散射电子)

4.选择High Vacuum模式。(High Vacuum/Low Vacuum 为高真空/低真空)

5.点击“开始”( Start) 键,电子枪发射电子束,形成图像。 

注:1).SEM 电源关闭或者 SEM-PC Cable 连接不良,软件不可运行。 

2).首次开始的时候以高真空的模式开始,使用过程中可以切换为低真空。

(Only BSE Mode)

3).确认图像显示窗口左上角的电子束电流值是否有上升到 (100uA 以上)。

-电流值40~60uA时钨灯丝需更换 (不出图像) 


(四) 开启实时图像, 移动观察区域

1.单击软件上(320x240)功能,高速实时图像扫描开始。

调整聚焦时使用此模式

- 图像比较暗的情况, 需要调整“光斑尺寸(电子量)”的值 

( 参数越低就越亮/ 5~30% - SE 图像)

- 图形不稳定或者比较亮白的情况, 同上参数向右调整 

(20~70% - BSE 图像)

※完全看不到图像

1).确认灯丝值(图像显示窗口左上角的电子束电流值)

2.找样品观测点时用(640x480)全屏模式,视野更广阔。


(五)国产扫描电镜设备点检和故障处理

(1)Vacuum system的点检

1).O型圈点检及更换

由于经常更换样品或更换灯丝的缘故,真空舱门部位的O型真空密封圈或电子枪的O型真空密封圈磨损的频率较高。因为灰尘附着,污染等原因会造成真空泄露的现象。需要定期进行清洁管理。

将O型真空密封圈从卡槽中取出。请勿使用金属工具进行操作。若在卡槽或密封圈的表面造成瑕疵或变形会导致无法完全抽真空。

使用蘸有少量乙醇的无纺布擦拭取出的密封圈,取出上面的灰尘和污染物。擦拭好的密封圈请不要直接接触皮肤或衣服等其他污染源避免造成二次污染。

仔细检查密封圈是否有灰尘或瑕疵。若发现有瑕疵或变形则需要更换密封圈。

蘸取少量真空密封油(Vacuum grease)均匀涂布在密封圈表面。

使用乙醇将固定密封圈的卡槽清洁干净。

将均匀涂布了真空密封油的密封圈按原位置放入卡槽。

2).Rotary pump oil点检及更换

真空泵油若量不足或发生变色、变质等现象会影响真空泵的性能。因此需要定期对真空泵油进行检查和更换。

补充

真空泵油的补充是指在真空泵油没有变质或污染的情况下,油量低于标准位置时而进行泵油补充。

泵油补充时请参照真空泵油标尺从注油口处倒入真空泵油。

更换

通过真空泵油标尺处可以看到真空泵油发生变色时或者每隔6个月至1年需定期更换真空泵油。

拆下和设备主机连接着的真空泵管(Air hose)和oil mist。

拆下排出口处螺丝后将泵油排出。

废油完全排出后重新装上螺丝,从注油口处注入新油。适当的注入量为真空泵油标尺的下限和上限的2/3处。

重新将设备主机和真空泵管(Air hose)及oil mist连接。

(2)故障处理

1)故障维修

在使用中若设备发生异常,请按照本章中的提示进行操作。若本章中未提及的故障发生时,请停止运行设备并联系我司。

故障维修检查系统只能由经过培训并了解设备的人员进行操作。

故障维修检查期间若没有使用正确的保护措施,有可能引起伤亡或严重的受伤,因此在进行故障维修时必须使用保护设施。

故障维修前请关闭电源。

进行故障维修前请再次确认注意事项。若在故障维修时无法判断该如何实施时请立即停止作业关联系我司。

2)设备故障的情况

2.1、系统电源故障

现象:

按下“SS-150(60)”正面的电源按键后,显示灯不亮,设备电源不供电,设备不能启动。

原因:

1)供给电源的220V插头不能供电

2)“SS-150(60)”内部超负荷而引起E.L.B(漏电保护器)将电源转至关闭状态

解决方法:

检查供给设备电源的220V插头是否从供电盒脱落

检查“SS-150(60)”背面的E.L.B(漏电保护器)的开关是否处于打开状态

          若确认设备背面的开关之前是打开状态,之后并不是人为将开关关闭时,此时不要将开关打开,请联系售后工程师

注意:若确定电源插头正确插在供电盒上,并且E.L.B(漏电保护器)的开关在打开状态时,请特别注意此时即使不打开设备正面的开关按键SMPS和其他设备部分也可能带电

2.2、PC启动故障

现象:

计算机无法被正常打开或画面中什么也不出现

计算机启动中途黑屏,停止启动

软件不能正常执行

原因:

计算机电源不供电

计算机没有正常关机导致软件出现问题

计算机和“SS-150(60)”之间的连接线没有正常连接

解决方法:

检查计算机的供电电源插头是否正常插入

检查计算机的电池是否耗尽

检查计算机和“SS-150(60)”之间连接线的连接状态

检查“SS-150(60)”设备是否被打开

检查是否有必要的程序在执行

检查计算机是否中毒

2.3、通讯故障

现象

跳出“无法找到Active Scan设施”的错误提示

原因

设备和计算机的USB线连接不良

解决方法

重新连接USB线

2.4、真空故障

现象

抽真空过程中从设备内部主板中传出“BB”的连续提示音

原因

机械真空泵和“SS-150(60)”之间的真空泵管没有正确连接

机械真空泵故障

分子泵故障

样品舱门没有完全关闭

解决方法

检查机械真空泵和“SS-150(60)”之间真空泵的连接状态

抽真空时关紧样品舱门

更换机械真空泵内的真空泵油


        以上介绍了国产扫描电镜的产品介绍,作为国内一个自主研发的仪器公司,我们投入了大部分精力在做国产扫描电子显微镜的项目,我们的目的很明确,就是要尽可能做到在同等技术级别的平台下不落后国际上的前辈产品。我们还会像能谱仪(ED-XRF)一样,一步一个脚印的为国内厂家、大学和研发机构等做好每一台产品。希望我们的国产扫描电镜能够为我们中国日益蓬勃的研发工作做出微薄之力。


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创建时间:2018-07-18 14:51
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