扫描电镜观测样品需要满足什么条件?

        说到扫描电镜,很多人可能是听说过的,这是一种非常普遍的设备,市场上扫描电镜品牌和厂商也非常的多,应用的范围很广泛。扫描电镜本身是一种多功能的设备、其有很多优越的性能、特别是在鉴定分析中其是使用广泛的一种设备。一般来讲,我们使用它对被观测物体的外观形貌进行观测或分析,另外在观察形貌的同时,我们也可以对扫描电镜选配EDS进行元素成份分析。



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SS-150扫描电镜




        由于扫描电镜并非直接观测,而是通过发射电子束对样品进行激发,并使用背散射或二次电子探测器对被观测物体的成份像和形貌像进行分析。由于扫面电镜的工作方式就决定了,一般说来使用扫描电镜观测的样品需要满足如下几个要求:


        1.    形貌形态,必须耐高真空

        扫描电镜是靠电子束扫描物体表面来成像的。空气的存在会使的电子束变型,影响扫描效果,所以被测样品比较能耐高真空。


        2.样品表面不能含有有机油脂类污染物

        油污在电子束作用下极端容易分解成碳氢化物,对真空环境造成极大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖;碳氢化合物降低了成像信号产量;碳氢化合物吸附在电子束光路引起极大象散;碳氢化合物被吸附在探测器晶体表面,降低探测器效率。对低加速电压的电子束干扰严重。


        3.样品必须是干燥的

        水蒸气会加速电子枪阴极材料的挥发,从而极大降低灯丝寿命;水蒸气会散射电子束,增加电子束能量分散,从而增大色差,降低分辨能力。


        4.样品表面可以导电

        样品表面必须可以导电,如果不能导电,则必须镀金以增加导电性。在大多数情况下,初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和,因此多余的电子必须导入地下,即样品表面电位必须保持在0电位。如果样品表面不导电,或者样品接地线断裂,那么样品表面静电荷存在,使得表面负电势不断增加,出现充电效应,使图像畸变,入射电子束减速,此时样品如同一个电子平面镜。对不导电的样品,建议采用离子溅射镀膜机喷镀金属,这样可以显著提高扫描电子显微镜所观察图像的质量。


        5特殊样品制备的考虑因素

        扫描电镜一般不建议观测磁性材料,如果一定要观测此类物质,则建议对材料首先进行退磁。如果要检测观察弱反差机理,就必须消除强反差机理(例如,形貌反差),否则很难检测到弱的反差。当希望背散射电子衍射反差(EBSD),I和II型磁反差或其他弱反差机理时,磁性材料的磁畴特性必需消除样品的形貌。采用化学抛光,电解抛光等,以使样品产生一个几乎消除形貌的镜面。 


        通过以上了解,相信大家对扫描电镜观测样品有了一定的认识,总结说来,扫描电镜样品通常需要在真空环境下进行观测(目前少数电镜也有采用低真空技术进行观测的),因此其对被观察样品的要求简单说来就是,样品需要:干燥、无油、导电。希望以上内容对大家有所帮助。


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创建时间:2018-11-07 15:49
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