扫描电镜简单操作流程


一、样品装载和开机:
1、样品制作、安装。(根据样品导电性强弱来判定是否镀膜)
2、打开电脑、显示器及电镜电源。
3、替换样品台,按Exchange 键,抽真空。(换样前若样品室有真空,需提前释放。)
4、开软件,双击桌面的SENSE-SEM图标,等待软件运行。

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SS-150扫描电镜


二、测试:
1~11为整个测试的操作流程,14为练习内容,可以比较样品台高度Z不同,电镜测出图片效果。Z最低,图片景深好。Z比最低点高,图片清晰度好。
1、调样品台高度,Z轴调最低点位置 ,最小值-22.0(大约)。【实际测样中样品台高度要根据样品情况来调整】
2、选合适加速电压、探测器类型及高真空模式后,点击“start”开始调试。
3、放大画面前实时图像若为白色,向右调节第一聚光透镜电流CL1。(CL2为最右端)。
4、Collector-CLT收集器、Amplifier-PMT放大器,一般调最大。
5、在实时图像模式调粗聚焦,Z为-22.0(自动平台控制盒有显示)时,W/D调为20(不同机型,W/D值有所差异),图像会清晰。Z固定一个高度时,W/D只需调一次。
6、移动样品台位置,调X/Y轴和Beam shift光束位移使样品测试部位在画面中间。
7、打开wobble功能,旋转光阑杆X/Y轴,使光阑孔对齐,图像不晃动。(SS-60无此步骤)
8、调微聚焦,画面清晰。放大需要的倍数,重复调微聚焦。
9、调Stigmation消像散,X、Y值±20%,重复调微聚焦,图像会更
清晰。(图片放大倍数小于3千-5千倍,可不用调Stigmation。)
10、适当调整Contrast对比度和 Brightness亮度。
11、Photo Mode3扫描,存储图片。
12、如需测试样品其它部位,缩小倍数,重复上述6~11步骤。
13、如需测试其它样品,先点击软件“stop”按钮,待显示出start,按设备上的Exchange键,释放真空,之后更换样品,再按Exchange 键,抽真空,重复以上1~11步骤。
14、改变样品台高度,Z轴-12,W/D调为5,图像会清晰。再重复上述6~11步骤。


三、关机:
1、点击软件“stop”按钮,停止采集图像,再关软件退出。
2、只关电镜电源,不要释放真空。(样品室真空状态,可保护钨丝不被大气氧化)
3、如果不用电脑,可以关闭电脑。
注意:
1、sense软件打开前,电镜电源需开启,SEM-PC电缆连接良好,否则会提示报错。
2、如果在第二步的2中,点击“start”前,真空需抽完,否则点击“start”无反应;点击“start”后,电子束电流值显示40~60uA,实时画面会不出图像,此时需更换新钨灯丝。
3、在实际中会需要不同倍数的图片,所以在第二步的8中,放大倍数应按需要的最大倍或更大来调整,图像调清晰后,缩小需要的倍数即可,不用再聚焦。
4、样品室内必须保持清洁,不允许有杂物、碎屑等触碰到探测器。

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创建时间:2019-01-23 15:08
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