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善时仪器扫描电子显微镜SS-60设备点检和故障处理

(1)Vacuum system的点检


1).O型圈点检及更换


    由于经常更换样品或更换灯丝的缘故,真空舱门部位的O型真空密封圈或电子枪的O型真空密封圈磨损的频率较高。因为灰尘附着,污染等原因会造成真空泄露的现象。需要定期进行清洁管理。


    将O型真空密封圈从卡槽中取出。请勿使用金属工具进行操作。若在卡槽或密封圈的表面造成瑕疵或变形会导致无法完全抽真空。


    使用蘸有少量乙醇的无纺布擦拭取出的密封圈,取出上面的灰尘和污染物。擦拭好的密封圈请确保不要直接接触皮肤或衣服等其他污染源避免造成二次污染。


    仔细检查密封圈是否有灰尘或瑕疵。若发现有瑕疵或变形则需要更换密封圈。
    蘸取少量真空密封油(Vacuum grease)均匀涂布在密封圈表面。
    使用乙醇将固定密封圈的卡槽清洁干净。
    将均匀涂布了真空密封油的密封圈按原位置放入卡槽。

2).Rotary pump oil点检及更换

    真空泵油若量不足或发生变色、变质等现象会影响真空泵的性能。因此需要定期对真空泵油进行检查和更换。


    补充


    真空泵油的补充是指在真空泵油没有变质或污染的情况下,油量低于标准位置时而进行泵油补充。

泵油补充时请参照真空泵油标尺从注油口处倒入真空泵油。


    更换


    通过真空泵油标尺处可以看到真空泵油发生变色时或者每隔6个月至1年需定期更换真空泵油。

拆下和设备主机连接着的真空泵管(Air hose)和oil mist。


    拆下排出口处螺丝后将泵油排出。


    废油完全排出后重新装上螺丝,从注油口处注入新油。适当的注入量为真空泵油标尺的下限和上限的2/3处。


    重新将设备主机和真空泵管(Air hose)及oil mist连接。


(2)故障处理


    1)故障维修
    在使用中若设备发生异常,请按照本章中的提示进行操作。若本章中未提及的故障发生时,请停止运行设备并联系我司。
    故障维修检查系统只能由经过培训并了解设备的人员进行操作。
    故障维修检查期间若没有使用正确的保护措施,有可能引起伤亡或严重的受伤,因此在进行故障维修时必须使用保护设施。
    故障维修前请关闭电源。

    进行故障维修前请再次确认注意事项。若在故障维修时无法判断该如何实施时请立即停止作业关联系我司。


2)设备故障的情况
2.1、系统电源故障
    现象:
    按下“SS-60”正面的电源按键后,显示灯不亮,设备电源不供电,设备不能启动。
    原因:
    1)供给电源的220V插头不能供电
    2)“SS-60”内部超负荷而引起E.L.B(漏电保护器)将电源转至关闭状态
    解决方法:
    检查供给设备电源的220V插头是否从供电盒脱落
    检查“SS-60”背面的E.L.B(漏电保护器)的开关是否处于打开状态

    若确认设备背面的开关之前是打开状态,之后并不是人为将开关关闭时,此时不要将开关打开,请联系售后工程师


    注意:若确定电源插头正确插在供电盒上,并且E.L.B(漏电保护器)的开关在打开状态时,请特别注意此时即使不打开设备正面的开关按键SMPS和其他设备部分也可能带电


2.2、PC启动故障

    现象:

    计算机无法被正常打开或画面中什么也不出现
    计算机启动中途黑屏,停止启动
    软件不能正常执行
    原因:
    计算机电源不供电
    计算机没有正常关机导致软件出现问题
    计算机和“SS-60”之间的连接线没有正常连接
    解决方法:
    检查计算机的供电电源插头是否正常插入
    检查计算机的电池是否耗尽
    检查计算机和“SS-60”之间连接线的连接状态
    检查“SS-60”设备是否被打开
    检查是否有必要的程序在执行
    检查计算机是否中毒

2.3、通讯故障


    现象
    跳出“无法找到Active Scan设施”的错误提示
    原因
    设备和计算机的USB线连接不良
    解决方法

    重新连接USB线


2.4、真空故障


    现象
    抽真空过程中从设备内部主板中传出“BB”的连续提示音
    原因
    机械真空泵和“SS-60”之间的真空泵管没有正确连接
    机械真空泵故障
    分子泵故障

    样品舱门没有完全关闭


解决方法

    检查机械真空泵和“SS-60”之间真空泵的连接状态
    抽真空时关紧样品舱门
    更换机械真空泵内的真空泵油

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