扫描电子显微镜的基本原理

　　扫描电子显微镜是由电子枪发射的电子束最高可以达到30keV,经会聚透镜、物镜缩小以及聚焦,在样品表面形成一个具有一定能量、强度还有斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下,入射电子束在样品表面上按照一定的空间以及时间顺序做光栅式逐点扫描。因为入射电子和样品之间的互相作用,将从样品中激发出二次电子。因为二次电子收集极的作用，可以把各个方向发射的二级电子汇集起来,随之再将加速极加速射到闪烁体上,转变为光信号,通过光导管到达光电倍增管,让光信号再转变成电信号。这个电信号又经过视频放大器放大并且将其输送到显像管的栅极,调制显像管的亮度。因此，在荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。

　　在扫描电子显微镜中，入射电子束在样品上的扫描以及显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器进行操控的。如此就保障了入射电子束的扫描以及显像管中电子束的扫描完全同步,保障了样品上的“物点”和荧光屏上的“象点”在时间以及空间上一一对应,我们称之它为“同步扫描”。通常扫描图象是由近一百万个盒物点一一对应的图象单元组合而成的,正由于这样,才让扫描电子显微镜可以显示一般的形貌外,还可以把样品局部范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图象形式显示。