扫描电子显微镜的结构

  扫描电子显微镜,英文名字为SEM,是scanningelectronmicroscope的缩写。扫描电子显微镜主要是运用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,也就是用特别狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束和样品的相互作用从而产生各种效应,此中关键是样品的二次电子发射。

 

  扫描电子显微镜的结构:

 

  扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,电子束系统还有成像系统。

 

  1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。

 

  2.电子束系统,电子束系统主要是由电子枪以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子枪用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。

 

  3.成像系统,电子通过一系列电磁透镜成束之后,打到样品上和样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。

 

  综上所述便是今天深圳市善时仪器有限公司的小编给大家介绍的关于扫描电子显微镜的结构全部内容,更多精彩欢迎下期看点。

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创建时间:2021-05-07 09:24
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