扫描电镜的构成（一）

　　今天小编来给大家介绍一下关于扫描电镜的组合结构是什么，主要内容如下：

　　扫描电镜主要是由真空系统，电子束系统和成像系统三个部分组合而成。先给大家介绍一下什么是真空系统。

　　真空系统是主要包含了真空泵和真空柱两个部分。而真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵主要是用来在真空柱内产生真空。其主要有机械泵、油扩散泵和涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合是可以满足扫描电镜的真空要求的，主要是配置钨。但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜，就需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统都是内置在真空柱中。真空柱的底端是一个密封室，是用来放置样品的。为什么要用真空呢，主要是因为以下两个原因：第一点，在普通大气中电子束系统中的灯丝会迅速氧化最后导致失效，所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外，平时还需要用纯氮气或者惰性气体充满整个真空柱。第二点：需要使用大量成像的电子，来增大电子的平均自由程度。

　　综上所述就是深圳市善时仪器有限公司小编给大家介绍的关于扫描电镜的组合结构是什么的主要内容，对于扫描电镜的另外两个组成部分电子束系统和成像系统到下期再给大家进行介绍，如果有什么问题，欢迎留言或者是电话咨询。