扫描电镜的构成（二）

　　上一期小编来给大家介绍的是关于扫描电镜的结构组成部分之一的真空系统，而扫描电镜主要是由真空系统，电子束系统和成像系统三个部分，下面给大家介绍一下什么是电子束系统。电子束系统是由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要应用于产生一束电子束，其特别窄的能量分布、确定的电子能量，用来扫描成象。下面逐一介绍一下电子枪和电磁透镜。

　　电子枪：主要是产生电子的，分为两大类，一类是场致发射电子枪，通过场致发射效应产生电子，这种电子枪非常贵，但它寿命长，至少可以使用1000小时以上，而且无需电磁透镜系统。另一类就是通过热发射效应产生电子，有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪的寿命在30~100小时之间，价格便宜，但成象效果不如其他两种，是扫描电镜配置最基本标准。而六硼化镧枪的寿命介于两者之间，大概为200至1000小时，价格是钨枪的十倍，图像明亮程度也是钨枪的5~10倍，需要的真空条件略高于钨枪，一般在10-7torr以上，但容易产生过度饱和和热激发的问题。

　　电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，因此在用热发射电子枪的扫描电镜时，电磁透镜是必备的。通常装配为两组：其一是汇聚透镜，就是汇聚透镜用汇聚电子束，装配在真空柱中，位于电子枪之下。通常不仅仅只有一个，还有一组汇聚光圈。但汇聚透镜只应用于汇聚电子束，与成象会焦没有关联。另一个就是物镜：在真空柱中最下方的一个电磁透镜就是物镜，它是用来把电子束的焦点汇聚到样品表面。

　　以上便是深圳市善时仪器有限公司小编介绍的关于构成扫描电镜的另一部分——电子束系统，期待咱们下一期的关于最后一个部分的介绍。