扫描电子显微镜的分析实验

一 、实验目的
1.了解扫描电子显微镜的原理还有结构；
2.运用扫描电子显微镜进行样品微观形貌观察。
二、实验原理
扫描电子显微镜(SEM)其实是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。由电子枪发射的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，在试样表面按照一定时间以及空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束和试样相互作用，产生二次电子发射以及背散射电子等物理信号，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，通过视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。
三、实验仪器
SS-60系列扫描电子显微镜
四、实验步骤
1.样品的制备
2.仪器的基本操作
1)开启稳压器及水循环系统；
2)开启扫描电镜还有能谱仪控制系统；
3)样品室放气，将已处理好的待测样品放入样品支架上；
4)当真空度达到要求之后，在一定的加速电压下进行微观形貌的观察。
五、观察结果