扫描电镜的构成（三）

　　前两期善时仪器的小编给大家介绍的是关于扫描电镜的结构组成部分的其中两大部分的真空系统和电子束系统，而扫描电镜是由三个部分组成，那么构成的第三个部分是什么呢？下面小编就给大家介绍一下。第三部分就是成像系统，成像系统和电子束系统相互之间的关联度极高。因为电子束系统是由电子枪和电磁透镜两部分共同作用，主要可以产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束，可以用来扫描成象。

　　而电子经过一系列电磁透镜成束之后，打到样品上，再与样品相互作用，就可以产生一系列信号，比如：次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等。所以需要不同的探测器来区分这些信号，比如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等，以此获得所需要的信息。虽然X射线信号是不能用于成象的，但是在习惯上，仍然会把X射线分析系统划分到成象系统中。

　　但是有一些探测器造价比较昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，成本高，所以可以退而求其次的选择使用次级电子探测器代替，但是需要设定一个偏压电场来筛除次级电子才可以。

　　以上就是关于扫描电镜的结构——真空系统、电子束系统、成像系统的全部内容，如果有疑问，可以在下方留言，如果有需要的话，可以拨打电话询问。