扫描电镜形成扫描透射像的原理

　　扫描电子显微镜已成为表征物质微观结构十分重要的仪器。在扫描电子显微镜中，电子束与样品的物质之间的相互作用可以产生特征X射线、二次电子、背散射电子等多种信号，通过收集二次电子和背散射电子来获得物质表面微观外观的信息，利用背散射电子衍射图案来获得晶体结构信息。特征X射线用于获得物质化学成分的信息，这些信息接近样品表面。
　　在扫描电子显微镜上配置透射附件，应用进行透射模式研究可得到物质的内部控制结构以及信息，使其发展既有扫描电镜的功能，又具备透射电镜的功能，与透射电镜技术相比，由于其加速电压低，所以可显著影响减少电子束对样品的损伤，而且可大大提高学生图像的衬度，特别适合于企业有机合成高分子、生物等软材料作为样品的透射能力分析。
　　下面和大家分享一下扫描透射像的形成原理，内容如下：
　　在扫描电子显微镜中，当电子束与样品相互作用时，一部分电子束通过样品，扫描进行电镜的STEM图像跟透射电镜分析类似，也分为明场像和暗场像，当入射电子束通过样品时，散射角较小的电子经孔径选择后进入亮场探测器，形成透射的亮场图像。大散射角的电子被DF-STEM电极板反射，被二次电子探针接收，形成暗场图像。
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