科研必备“武器”之扫描电子显微镜

　　扫描电子显微镜（英语名称为Scanning Electron Microscope，缩写为SEM），简称扫描电镜。它是一种电子显微镜，利用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。
　　最常见的扫描电镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子（secondary electron）。可以检测的二次电子的数量，取决于样品测绘学形貌。
　　仪器结构
　　扫描电子显微镜由真空系统、电子束系统和成像系统组成。
　　真空系统
　　主要内容包括通过真空泵和真空柱两部分。真空塔是密封的圆柱形容器。真空泵可以用来在真空柱内产生一个真空。
　　电子束系统
　　它由电子枪和电磁透镜两部分组成。它主要用于产生能量分布非常窄的电子束，并确定电子能量用于扫描成像。
　　成像系统
　　电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。
　　扫描电子显微镜仪器特点
　　①能够直接观察样品表面的结构。
　　②样品制备研究过程可以简单，不用切成薄片。
　　③样品可在样品室内进行三维平移和旋转，可从不同角度观察样品。
　　④景深大，图象富有一种立体感。扫描电镜的景深比光学显微镜大数百倍，比透射电镜大数十倍。
　　⑤图象的放大作用范围广，分辨率也比较高。它可以放大几十倍到几十万倍，基本上包括放大镜、光学显微镜到透射电子显微镜的放大范围。分辨率介于光学电子显微镜与透射电镜技术之间。
　　⑥电子束对样品的损伤和污染相对较小。
　　⑦在观察不同形貌的同时，还可通过利用从样品发出的其他相关信号作微区成分研究分析。