影响扫描电镜分辨率的主要因素

　　扫描电镜主要是针对高度差大的问题、观察到粗糙且不均匀的厚样品，因此在设计中突出了景深效果，一般用于分析未经过人工处理的裂缝和自然表面。扫描电镜的主要特点如下：
　　1）可以直接观察大尺寸样品的原始表面；
　　2）样品室中样品的自由度非常大；
　　3）观察的视场大；
　　4）图像的景深大，立体感强；
　　5）对于厚样品可以获得高分辨率图像；
　　6）辐照对样品表面的污染很小；
　　7）能够动态观察（如动态拉伸、压缩、弯曲、升降温等）；
　　8）可以获得对应于形态学的各种信息；
　　9）在不牺牲扫描电镜特性的情况下，扩展附加功能，如微区成分和晶体学分析。
　　影响扫描电镜分辨率的主要因素是：
　　A.入射电子束光斑直径：一般来说，热阴极电子枪的最小束斑直径可以减小到6nm，场发射电子枪的束斑直径可以小于3nm。
　　B.入射电子束在样品中的膨胀效应：扩散的程度取决于入射电子的能量和样品的原子序数束流能量越高，样品的原子序数越小，电子束的相互作用体积越大，信号产生面积随着电子束的扩散而增大，从而降低分辨率。
　　C.使用的成像模式和调制信号：当二次电子被用作调制信号时，由于它们的低能量（小于50ev），平均自由程短（大约10～100纳米），只有表面50-只有100nm范围内的二次电子能从样品表面逸出，散射次数非常有限，基本不延伸到侧面，所以二次电子图像的分辨率约等于束斑直径.当反向散射的电子被用作调制信号时，由于它们的高能量、穿透力强，能从样品深处逃逸（大约30的有效效果％深度）在深度范围内，入射电子横向扩散，因此背散射电子像的分辨率低于二次电子像，一般在500-大约2000纳米。如果将吸收电子、x射线、阴极发光、在其他工作模式下，束感应电导或电势用作调制信号由于信号来自整个电子束散射区域，扫描图像的分辨率相对较低，一般在1000nm10000nm之间。